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137-2866-5346通過廠家對石墨舟清洗配方實(shí)驗(yàn)對比對鍍膜均勻性的影響，得出數(shù)據(jù)顯示適當(dāng)增加酸洗、水洗時(shí)間，利于鍍膜均勻性的改善，顯微鏡觀察，不同的清洗配方對石墨舟表面的微觀形貌會有一定的差異化，主要區(qū)別在于肉眼無法觀察的一些細(xì)小氮化硅顆粒物的殘留導(dǎo)致石墨舟表面的平整性、粗糙度存在差異在3D顯微鏡狀態(tài)下測試的氮化硅殘留區(qū)域與非氮化硅殘留區(qū)域微觀形貌及粗糙度，數(shù)據(jù)顯示氮化硅殘留區(qū)域，粗糙度整體均值Sa 為3，5um明顯高于正常區(qū)域粗糙度Sa為2，8um且氮化硅與石墨舟本身導(dǎo)電性存在較大差異性。進(jìn)而對鍍膜均勻性存在一定的影響。
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